
磁場(chǎng)探針臺(tái)是在常規(guī)探針臺(tái)的基礎(chǔ)上,集成了磁場(chǎng)生成與調(diào)控模塊的精密測(cè)試儀器,核心是把可控的磁場(chǎng)環(huán)境和微納尺度的電學(xué)測(cè)量深度結(jié)合起來(lái),用來(lái)揭示各類(lèi)材料和器件的磁學(xué)響應(yīng)特性。
它的主體由磁場(chǎng)發(fā)生單元、三維精密探針定位系統(tǒng)、信號(hào)檢測(cè)模塊,以及配套的溫控、真空子系統(tǒng)共同組成,不同模塊都可以根據(jù)實(shí)際測(cè)試需求靈活定制調(diào)整。這類(lèi)設(shè)備可以生成一維到三維的可控矢量磁場(chǎng),市面常見(jiàn)型號(hào)的磁場(chǎng)強(qiáng)度范圍普遍覆蓋±2.5T,搭配閉循環(huán)制冷組件后還能實(shí)現(xiàn)10K到500K的寬溫區(qū)測(cè)試環(huán)境,探針的定位精度可以達(dá)到納米級(jí)別,支持從直流到數(shù)十GHz的多頻段電信號(hào)同步采集。
目前這類(lèi)設(shè)備已經(jīng)廣泛應(yīng)用在自旋電子器件、磁性隧道結(jié)、量子材料等多個(gè)前沿領(lǐng)域,能夠完成磁輸運(yùn)特性、自旋霍爾角、磁滯回線等關(guān)鍵參數(shù)的表征,是半導(dǎo)體研發(fā)、凝聚態(tài)物理研究場(chǎng)景里重要的核心測(cè)試平臺(tái)。
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