
磁場探針臺的分類方式多樣,不同維度的分類依據對應著不同的設備定位和適用場景。
從磁場產生方式來劃分,可分為電磁鐵型和永磁體型,電磁鐵型依靠電流線圈生成磁場,磁場強度可調范圍大,通常能覆蓋0-2T區間,需要配套專用電源和冷卻系統,更適配科研場景下多變的實驗需求;永磁體型采用釹鐵硼等永磁材料提供磁場,磁場狀態穩定且無需持續供電,但磁場調節的靈活性相對較差,更適合產線端的快速標準化檢測。
從磁場維度來劃分,可分為一維面內磁場探針臺、二維磁場探針臺和三維矢量磁場探針臺,一維款僅能提供單一方向的磁場,適合基礎的單向磁場測量場景,三維款可實現多方向磁場的獨立調控,能夠模擬復雜的電磁環境,滿足各向異性材料的多維度磁特性研究需求。
從配套環境與功能屬性來劃分,可分為常溫磁場探針臺、低溫磁場探針臺、真空磁場探針臺以及高頻磁場探針臺,這類分類的依據是設備集成的附加環境模塊,低溫款可實現7K甚至更低的極低溫環境,真空款能提供高真空測試腔體,高頻款適配同軸探針與屏蔽結構,可大幅降低高頻信號的傳輸損耗,滿足微波、THz頻段的磁電同步測試需求。
從自動化操作程度來劃分,可分為手動磁場探針臺、半自動磁場探針臺和全自動磁場探針臺,分類依據是樣品臺與探針的操控自動化水平,手動款依靠人工完成探針對位,成本較低適合小批量科研驗證,全自動款可實現晶圓級的自動掃查測試,大幅提升量產環節的測試效率。